VIGOUR>>先進的なガス供給システムの信頼できるパートナー

特殊ガスラック
VGRシリーズ

• 電子グレードのバルクガスを継続的かつ中断なく安全に供給します。{0}
• 安全圧力リリーフを備えたオプションのベントおよびパージ機能。
• クラス 100 クリーンルーム溶接アセンブリ。
• インテリジェント監視プラットフォーム システムからアクセスできる通信インターフェイスを備えたオプションの PLC 制御。
• 音声および視覚信号による高圧/低圧アラーム。緊急遮断が可能。
• シリンダー圧力やその他のデータを表示するタッチスクリーンディスプレイ。
• タイプ: 特殊ガスコントロールラック
• 材質：バルブおよび配管部品にはSS 316L
• 適用ガス：不活性ガス（Ne、Kr、Ar、Heなど）
• ガス供給方式：ガスシリンダー
• 電源:110~240VAC
• 構成: 単-シリンダー、デュアル-シリンダー

特殊ガスキャビネット
VGCシリーズ

• タイプ: 特殊ガスキャビネット
• 材質：バルブおよび配管部品にはSS 316L
• 適用可能なガス: 可燃性/自己発火性ガス、腐食性ガス、有毒ガス（SiH4、HCL など）{0}}
• 電源：AC110~240V
• エンクロージャ: 耐食性溶接鋼-
• ガラス窓: 自動閉-
• 排気パイプ: トップマウント排気パイプ-
• 製品の用途: 大学/研究所;工業製造業;太陽光発電;医薬品およびバイオテクノロジー。半導体集積回路製造
• 設計標準: SEMI S2 標準に準拠。国際建築防火規定に準拠。最大使用圧力：耐圧試験圧力の110％

ガススティックアセンブリ

VUPシリーズ

• すべてのガスデリラシステム用の超高純度ガススティック

100TG: 30 slpm 以下の配信 1/4" VFS

200TG: 300 slpm 以下の配信 3/8" VFS

300TG: 600 slpm 以下の配信 1/2" VFS

• 製品はVS001Aプロセス仕様に準拠して製造されています
• 高い制御精度
• すべての接続が溶接または VFS
• 手動または空気圧ダイヤフラムバルブのオプション
• 100% ヘリウム-リーク-テスト済み
• 入口圧力 P1: 300 psig (20bar)
• 出口圧力 P2: Vac ～ 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10bar)
• ダイヤフラムバルブ材質：本体316L、バルブシート PCTFE;ダイヤフラムエルジロイ®
• レギュレーターの材質: 本体 316L/316L 二次リメルト。バルブシート PCTFE;ダイヤフラム ハステロイ®
• リーク率: (大気に対して) 1x10^-9 mbar I/s He;

(シート経由) 1x10^-8 mbar I/s H

圧力制御パネル

VUP-1Uシリーズ

• 圧力制御盤（片面タイプ）
• VSR-100UBS/UCS シリーズ シングルステージレギュレータ
• VDV33UBSシリーズベントダイヤフラムバルブ
• VDV33UBSシリーズ 入口プロセスダイヤフラムバルブ
• オービタル溶接 VFS- 面シール接続
• モジュラー設計
• 最大 3500 psig (250bar) の入口圧力に適しています
• ガスシリンダー用の安全キャビネットに簡単に取り付け可能
• 100% ヘリウムリークテスト済み
• 入口圧力 P1: 最大 3500 psig (250bar)
• 出口圧力 P2: Vac ～ 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10 bar)
• 表面仕上げ: 10uin。 Ra (25uin。Ra はオプション)
• インレットとアウトレット: 1/4 インチ VFS フィッティング
• 温度範囲: -40°F ～ +160°F (-40 度 ～ +71 度)
• 流量容量: Cv=0.09 (Cv=0.15 オプション)