INTEGRATED GAS SYSTEM>>IGS製品シリーズの共有
VIGOR は、半導体製造業界における高純度ガス制御用に特別に設計された高度な統合ガス システム（IGS）を提供しています。{0}当社のソリューションは、革新的なエンジニアリングと厳格な製造基準を組み合わせて、重要なアプリケーションにおける信頼性、コンパクトさ、優れたパフォーマンスを保証します。
製品の特徴
- 半導体業界のガス制御に使用
- モジュラー設計
- すべてのコンポーネントは SEM1 規格に従って表面実装されています
- サイズは従来のパネルの約1/3
- SEMl標準材質、電解研磨処理、オービタル溶接
- Wseal と C{0}} シールはオプション
- クリーンルーム内で二重袋詰め
- 「ブラケット」を除くすべての製品は、VS001Aプロセス仕様に従って生産されています
IGS圧力調整器 VIRシリーズ
1.最大使用圧力: 150 psig
2. 最大動作温度: -40度F〜140度F(-40度〜60度)
3.出口圧力: 0~100 psig
4. 表面仕上げ: 最大. 5。ラ
5. 素材: 316L VIM-VAR
6. バルブシート: PCTFE (PFA/Vespel オプション)
7. 流量: Cv=0.08
IGSダイヤフラムバルブ VIDシリーズ
1.最大使用圧力: 150 psig
2. 最大動作温度: PCTFE 14 度 F 〜 176 度 F (-10 度〜 80 度)。 PFA 14度F～302度F(-10度～150度)
3.行き止まりのないデザイン
4. 濡れた表面は EP、Max. 5uin で処理されます。ラー。
5. 素材: 316L VIM-VAR
6. 100% ヘリウム-リーク-テスト済み
7. 流量: Cv=0.1
IGS流量制御弁 VIMシリーズ
1.最大使用圧力: 150 psig
2. 最大動作温度: 14度F〜302度F(-10度〜150度)
3. シール: FKM
4. 濡れた表面は EP、Max. 5uin で処理されます。ラ
5. 流量: Cv=0.03
IGS逆止弁 VICVシリーズ
1.最大使用圧力: 150 psig
2. 最大動作温度: 14度F〜176度F(-10度〜80度)
3. 表面仕上げ: 最大. 5。ラ
4. クラッキング圧力: 0.33 psig
5. 流量: Cv=0.2
基板 VlB シリーズ (C- シール)
1.C-シール
2. 密閉効果を確保するための非固定設置-
3.接液部はEP処理
4. 表面仕上げ: Max. 5uin.Ra
5. 素材: 316L VIM-VAR
コア製品シリーズ
- IGS圧力調整器（VIRシリーズ）
- IGSダイヤフラムバルブ（VIDシリーズ）
- IGS流量制御弁（VIMシリーズ）
- IGS逆止弁（VICVシリーズ）
- IGS基板＆ブラケット（VIBシリーズ）
- ガスケット（VIGシリーズ）
VIGOR IGS を選ぶ理由
当社のシステムは精密エンジニアリングと実用的な設計の相乗効果を表しており、以下を提供します。
- スペース効率: パネルサイズを大幅に縮小。
- 超-高純度: 半導体-グレードのアプリケーション向けに調整された材料とプロセス。
- モジュール式の柔軟性: 構成、拡張、保守が簡単です。
- 実証済みの信頼性: 厳格なテストと SEMI{0}} 規格への準拠。
VIGOUR では、単なるコンポーネントを提供するだけではありません。{0}お客様のアイデアを自信を持って正確に実現する統合ソリューションを提供します。
