同じ 316L ステンレス鋼チューブでも、価格は数倍異なる場合があります。その秘密は肉厚ではなく内面にあります。必要なガス純度が高くなるほど、チューブの内側の「スキン」に対する要求も厳しくなります。 AP、BA、EP の 3 つの指定は、業界で定義されたチューブ内面の 3 つの等級基準を表しています。
▌グレード 1: AP - 基本的な機械加工グレード
AP (酸洗) チューブは、表面のスケールや汚染物質を除去するために酸洗されるため、内面は比較的粗くなります。一般産業用ガス配管用です。その利点は低コストと短いリードタイムであり、通常の圧縮空気や窒素パージラインなど、遊離粒子や不純物が要求される用途に適しています。
▌グレード 2: BA - 高純度光輝焼鈍グレード
BA（Bright Annealing）チューブは、水素雰囲気または真空中で焼鈍し、表面に緻密な不動態皮膜を形成し、内面粗さRa＜0.4μmを実現します。 AP チューブと比較して、BA チューブはより滑らかな表面、優れた耐食性、粒子や水分の吸着を大幅に低減します。高純度ガスの輸送に広く採用されています。
▌グレード 3: EP - プレミアム電解研磨グレード
EP（電解研磨）チューブはBA処理をベースにさらに電解研磨されています。チューブがアノードとして機能すると、表面のピークが電解液に溶解して内面が平らになり、5〜10μin Ra（約. 0.13〜0.25μm）の粗さが得られます。電解研磨により、鏡のように滑らかな内面が得られ、残留金属粒子やプロセスによる汚染が除去され、クロムを豊富に含む不動態層が生成されます。これは、半導体超高純度ガスシステムで使用されるチューブの必須要件です。
VIGOR - 半導体に EP が必須である理由
ウェーハの製造では、チューブ壁から浸出した小さな金属粒子や水分子でさえもウェーハの欠陥を引き起こす可能性があります。粗い表面は汚れを捕らえるスポンジのような役割を果たし、湿気や不純物を吸着し、時間の経過とともにゆっくりと放出します。対照的に、滑らかで緻密な EP 表面には粒子や水分が付着する場所がなく、パージと交換のサイクル時間が大幅に短縮されます。 EP チューブは、超高純度ガス分配の純度を保護する最初の物理的バリアを形成します。
3 グレードの比較と対応する VIGOR 製品
| 学年 | プロセス | 表面粗さ | 代表的な用途 | VIGOR相当 |
|---|---|---|---|---|
| APグレード | 酸洗と不動態化 | 比較的粗い | 一般産業用ガス配管 | VTUBEシリーズ（APグレード） |
| BAグレード | 光輝焼鈍 | Ra < 0.4 μm | 高純度ガス、電子化学品 | VTUBEシリーズ（BAグレード） |
| EPグレード | 電解研磨 | 5 ～ 10 μインチラ | 半導体超高純度ガス回路 | VTUBEシリーズ（EPグレード）、VUPS超高純度品 |
材質グレードと表面処理は累積仕様であることに注意してください。 VIGOR VUPS 超高純度シリーズ: UB モデルは、10/25 μin Ra 表面仕上げの標準 316L 基板を使用します。 UC モデルは、5/7/10 μin Ra 表面仕上げの再溶解 316L 基板にアップグレードされています。材料の純度と表面の平滑性の両方が向上し、内面の性能が最適化されます。チューブを選択する際には、重要な質問の 1 つを考慮する必要があります。それは、どのグレードの内面「スキン」がガス純度要件に適合するかということです。
